ess-mikromechanik壓力真空空氣軸承 DVL-50

DVL系列產(chǎn)品描述

真空預(yù)緊的空氣平面軸承通過(guò)同時(shí)進(jìn)行吸力和排斥力固定在導(dǎo)向面上。通過(guò)專門(mén)調(diào)整壓力和真空度，空氣軸承的實(shí)際飛行高度和

取決于空氣軸承的剛度可以得到最佳調(diào)整，并適應(yīng)相應(yīng)的應(yīng)用。此外，由于所述調(diào)整選項(xiàng)，該空氣軸承具有在垂直方向

上在亞微米范圍內(nèi)發(fā)生位置變化的效果。

DVL系列技術(shù)描述

行程無(wú)限制

負(fù)載能力見(jiàn)表

駕駛-

控制-

安裝位置 任意

最大工作壓力 5 bar

工作溫度 15 至 35°C

儲(chǔ)存溫度 2 至 40°C

能力特點(diǎn)

可調(diào)節(jié)的剛度，亞微米范圍內(nèi)的位置變化良好的泄氣保用特性。

有針對(duì)性地調(diào)整壓力和真空，實(shí)現(xiàn)最佳剛度

這些方便的動(dòng)力裝置通過(guò)同時(shí)抽吸（真空）和推出（壓力）實(shí)現(xiàn)剛度的單獨(dú)調(diào)整值。

尺寸

底座直徑（A）50mm

底座高度（B）25mm

C 13.5mm

D 29mm

G M10x1，M12x1 

負(fù)載能力  375N

兼容組件

空氣軸承線性裝置構(gòu)成了亞微米范圍內(nèi)所有運(yùn)動(dòng)軸的基本組成部分。它們由不同的材料制成，具有高的精度。

由于這些組件彼此兼容，因此存在大量可能的變體。這些也是我們的客戶可以使用的這個(gè)精度等級(jí)中全面的

超精密導(dǎo)軌系統(tǒng)系列的基礎(chǔ)。

ess-mikromechanik壓力真空空氣軸承 DVL-50